氮化硅,为III-V族宽禁带III型化合物半导体材料,具有较高的热稳定性和电化学稳定性,热导率甚至比钻石还高,电阻率比氧化铝等材料低,同时硬度也较高,优良的物理性质决定了氮化硅在电子产品制造中有不可替代的地位。在新一代的超高速电子产品中,氮化硅被广泛应用,例如:微波功率器件、射频功率放大器、雷达、卫星通信等等。随着人们对超高速电子产品的需求越来越高,氮化硅的应用市场也不断扩大。
氮化硅的制备主要有分子束外延、气相沉积、金属有机气相沉积、低压化学气相沉积等各种技术,通过不断研发和改进这些技术,不仅可以提高氮化硅制备的效率和质量稳定性,同时也可以降低成本。
未来,氮化硅的应用将会更加广泛,发展趋势更加明显。一方面,人们对超高速电子产品的需求将会越来越高;另一方面,氮化硅的应用还可以延伸到电源电子学、生物医学电子学等领域。氮化硅作为高性能电子产品和新型电子元器件的关键材料,其市场潜力将会不断释放。