扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种通过扫描样品表面获得高分辨率的影像的显微镜。其原理是利用信号检测得到图像，因此与普通的电子显微镜有很大区别。
SEM 的工作原理很简单：将加速后的电子束扫描在样品表面，利用信号检测得到图像并通过计算机显像，这种方式既可以在细小的扫描面域内获得非常详细的影像信息，也能获得足够高的分辨率。其分辨率比普通光学显微镜高，达到纳米级别，并且可以实现三维成像。
SEM 的样品行为被称为二次电子发射效应。每当电解质产生一个抛射电子时，它会和正电子反冲而出，然后离开样品并与植入样品的其他粒子发生相互作用，从而形成反波衍射等信号。通过采集样品表面发出的二次电子信号，利用显微镜系统获得高分辨率图像。
扫描电子显微镜原理主要包括加速电子束，扫描电子束，检测信号等过程。作为一种高分辨率、高深度的显微镜，扫描电子显微镜在科学研究、工程技术等领域有着重要的应用价值。
